兩名直接知情人士透露，芯片制造商英特爾今年曾測(cè)試過一家深耕中國(guó)市場(chǎng)、且有兩家海外子公司遭美國(guó)制裁的工具廠商所生產(chǎn)的芯片制造工具。
今年 8 月，英特爾首席執(zhí)行官曾因被指與中國(guó)存在關(guān)聯(lián)而面臨特朗普總統(tǒng)要求其辭職的壓力，而此次英特爾所用的工具來自美國(guó)加利福尼亞州弗里蒙特市的芯片制造設(shè)備生產(chǎn)商盛美半導(dǎo)體（ACM Research）。盛美半導(dǎo)體位于上海和韓國(guó)的兩家子公司，去年因被指協(xié)助中國(guó)政府將商用技術(shù)用于軍事用途、并參與先進(jìn)芯片或芯片制造工具的研發(fā)，被列入美國(guó)技術(shù)出口限止步清單，無法獲取美國(guó)技術(shù)。對(duì)此，盛美半導(dǎo)體予以否認(rèn)。
此次測(cè)試的是兩臺(tái)濕法刻蝕工具，這類工具用于去除硅晶圓上的材料，進(jìn)而將硅晶圓加工為半導(dǎo)體芯片。它們被用于英特爾最先進(jìn)的 14A 芯片制造工藝的可行性測(cè)試，該工藝計(jì)劃于 2027 年初步投產(chǎn)。
目前美國(guó)部分對(duì)華強(qiáng)硬派人士指出，英特爾作為一家有美國(guó)政府參股的企業(yè)，卻考慮將受制裁企業(yè)的工具納入其最先進(jìn)的生產(chǎn)線，這引發(fā)了重大國(guó)家安全擔(dān)憂。他們擔(dān)心英特爾的敏感技術(shù)知識(shí)可能流向中國(guó)、西方可靠工具供應(yīng)商會(huì)被涉華企業(yè)取代，甚至存在被中方蓄意破壞的潛在風(fēng)險(xiǎn)。
據(jù) TechInsights 公司副主席丹?哈奇森介紹，盛美半導(dǎo)體等中國(guó)廠商的工具，相比應(yīng)用材料、泛林集團(tuán)等競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的產(chǎn)品，價(jià)格要低 20% 至 30%，這會(huì)對(duì)老牌廠商形成降價(jià)壓力，對(duì)英特爾而言意味著更低的設(shè)備采購成本。
目前暫無明確公開信息說明具體動(dòng)因，不過從行業(yè)邏輯來看，一方面是中國(guó)工具廠商具備價(jià)格優(yōu)勢(shì)，另一方面英特爾或希望通過測(cè)試多元化的設(shè)備供應(yīng)商，保障其先進(jìn)制程（14A）的生產(chǎn)供應(yīng)穩(wěn)定性，同時(shí)也可能是為了評(píng)估非傳統(tǒng)供應(yīng)商設(shè)備的技術(shù)性能是否能滿足其高端制造需求。
盛美半導(dǎo)體 1998 年由王暉創(chuàng)立，其本人目前仍擔(dān)任首席執(zhí)行官且持有超 57% 的投票權(quán)，同時(shí)擁有美國(guó)國(guó)籍和中國(guó)永久居留權(quán)。公司雖總部位于美國(guó)加州，但 2006 年就在上海設(shè)立研發(fā)中心，目前在上海張江高科技園區(qū)已具備完整的研發(fā)、工程和制造能力，其大部分研發(fā)工作也在中國(guó)開展。
路透社無法確認(rèn)英特爾是否已決定將這些工具用于先進(jìn)芯片制造流程，也無證據(jù)表明該公司違反了美國(guó)相關(guān)法規(guī)。盛美半導(dǎo)體表示，無法就 “具體客戶合作事宜” 置評(píng)，但可證實(shí) “美國(guó)團(tuán)隊(duì)已將其亞洲業(yè)務(wù)的多臺(tái)設(shè)備銷售并交付給美國(guó)本土客戶”，同時(shí)還披露曾向一家 “美國(guó)大型半導(dǎo)體制造商” 交付三臺(tái)工具，這些工具正處于測(cè)試階段，部分已達(dá)到性能標(biāo)準(zhǔn)。
美國(guó)前總統(tǒng)拜登時(shí)期的白宮國(guó)家安全委員會(huì)官員、美國(guó)外交關(guān)系協(xié)會(huì)高級(jí)研究員克里斯?麥圭爾在回應(yīng)路透社的調(diào)查結(jié)果時(shí)稱，英特爾測(cè)試盛美半導(dǎo)體工具的行為 “凸顯了美國(guó)技術(shù)保護(hù)政策存在嚴(yán)重漏洞，絕不應(yīng)該被允許”。他還補(bǔ)充道：“中國(guó)產(chǎn)工具極易被中方遠(yuǎn)程或物理操控，從而削弱甚至中斷美國(guó)芯片生產(chǎn)。美國(guó)企業(yè)絕不應(yīng)參與助力中國(guó)提升芯片制造工具水平的進(jìn)程，因?yàn)檫@類工具是所有先進(jìn)技術(shù)發(fā)展的基石。”
盛美半導(dǎo)體則表示自身不構(gòu)成國(guó)家安全威脅，稱其美國(guó)業(yè)務(wù)與受制裁的上海子公司 “相互獨(dú)立、完全隔離”，美國(guó)客戶由美國(guó)本土人員直接提供支持，且有完善的保障措施保護(hù)客戶商業(yè)機(jī)密。
中國(guó)駐美國(guó)大使館未針對(duì)性回應(yīng)對(duì)華強(qiáng)硬派的擔(dān)憂，但表示 “企業(yè)間正常的經(jīng)貿(mào)合作不應(yīng)被政治化。我們敦促美方一些人士摒棄意識(shí)形態(tài)偏見，停止泛化國(guó)家安全概念”。
俄勒岡 “硅林” 的重要樞紐
2023 年 11 月，盛美半導(dǎo)體宣布在俄勒岡州希爾斯伯勒市開設(shè)新設(shè)施，該地區(qū)被譽(yù)為該州的 “硅林”，新設(shè)施 “戰(zhàn)略選址于主要客戶和合作伙伴附近”，將作為公司新的銷售和服務(wù)中心。
該設(shè)施距離英特爾核心研發(fā)及早期量產(chǎn)工廠僅約 1 英里，且該州內(nèi)并無其他尖端芯片工廠。
美國(guó)對(duì)沖基金 Kerrisdale Capital2025 年 1 月的一份報(bào)告稱，該設(shè)施旨在鞏固盛美半導(dǎo)體與英特爾的合作關(guān)系，指出盛美半導(dǎo)體 2023 年底已在該設(shè)施完成一款新工具的認(rèn)證，并于 2024 年年中交付了更多設(shè)備。
Kerrisdale Capital 上月發(fā)布的后續(xù)報(bào)告稱，盛美半導(dǎo)體 “已通過與英特爾等全球龍頭企業(yè)的戰(zhàn)略合作，為海外擴(kuò)張奠定基礎(chǔ)，相關(guān)成果有望在 2026 年顯現(xiàn)”。該機(jī)構(gòu)還補(bǔ)充，盛美半導(dǎo)體正在英特爾開展 “多個(gè)清洗工藝環(huán)節(jié)的工具評(píng)估工作”，同時(shí) “正升級(jí)當(dāng)?shù)氐目蛻粞菔緦?shí)驗(yàn)室和本土研發(fā)能力，以便英特爾能在本地使用盛美半導(dǎo)體的工具進(jìn)行晶圓測(cè)試”。
英特爾未就該報(bào)告置評(píng)，盛美半導(dǎo)體則表示，其并非任何美國(guó)大型芯片制造商的主要設(shè)備供應(yīng)商。
中國(guó)廠商角逐全球市場(chǎng)份額
據(jù)高德納咨詢（Gartner Research）數(shù)據(jù)，盛美半導(dǎo)體在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)仍屬小體量玩家，位列第 24 名，在清洗工具細(xì)分領(lǐng)域的市場(chǎng)份額為 8%。
但美國(guó)國(guó)會(huì)中國(guó)問題特別委員會(huì) 10 月的一份報(bào)告指出，早在美國(guó)開始限止步中國(guó)獲取美國(guó)工具之前，中方至少自 2015 年起就已在著力打造具有競(jìng)爭(zhēng)力的本土半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)，中國(guó)工具廠商的全球市場(chǎng)份額也已實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)。
該委員會(huì)還稱，“甚至已關(guān)切地審閱過相關(guān)報(bào)告，稱盛美半導(dǎo)體曾向一家在美國(guó)有業(yè)務(wù)的半導(dǎo)體制造商出售半導(dǎo)體制造設(shè)備，且該美國(guó)企業(yè)還正式認(rèn)證了盛美半導(dǎo)體的工具可用于其生產(chǎn)線”，不過報(bào)告未披露更多細(xì)節(jié)。